: ロータリーポンプの再起動法
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- パソコン,シンクロスコープ等周辺機器の電源を落とした後.
- 前面パネルを開け,真空ゲージコントローラを見えるようにする.
- CHAN ボタンで表示ゲージを移動し, EMIS ボタンを押すことにより
BA1,BA2 のフィラメントの電源を落とす.
なお,各ゲージ名および通常時の真空度は以下のとおりである.
ゲージ名 |
測定場所 |
通常時の真空度 |
BA1 |
試料室側真空 |
Torr |
BA2 |
リフレクタ側真空 |
Torr |
TC2 |
ロータリーポンプ部真空 |
Torr |
- ゲージコントローラーの電源を落とす.(電源 SW はコントローラー後部にある.)
- 本体の電源を落とす.(本体右側面下部にある.)
Nobuhisa Watanabe
平成13年10月24日