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ロータリーポンプの再起動法

停電等でロータリーポンプが長期停止してポンプ本体が冷えてしまうと,そのまま再起動 した際に負荷が大きくヒューズが飛んでしまうそうです.(カタログ製品なのに!) 従って,再起動する際は以下の様に行う.

  1. 前面および右側面パネルを開ける.
  2. 右側面にある基板上の TURBO(MIRROR) と TURBO(SOURCE) コネクタを抜きターボポンプが 回らなくする.
  3. 同じ基板上のロータリーポンプ用のヒューズ(通常 6.3AMP)を 10AMP のものと交換する.
  4. 本体電源を投入し,ロータリーポンプを暖機する.(約2時間)
  5. ゲージコントローラーの電源を投入し TC2 が $5 \times 10^{-2}$ Torr 程度まで到達 していることを確認する.
  6. 一旦本体電源を落とし,ロータリーポンプ用のヒューズをもと(6.3AMP)に戻す.
  7. ターボポンプのコネクタ(2つ)を戻す.
  8. 再び主電源を投入し真空を立ち上げる.シーケンサーにより自動でターボポンプも 加速される.ステータスは前面の基板上に発光ダイオードで表示されており,緑点灯で加速終了.
  9. このまま半日程度真空引きした後,BA2 のフィラメントに EMIS ボタンで通電する.
  10. BA2 が$10^{-7}$ Torr 台に到達していたら, BA1 のフィラメントにも通電する.
  11. 前面および右側面パネルをもとに戻して,作業終了.



Nobuhisa Watanabe
平成13年10月24日