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: 電源停止手順
停電等でロータリーポンプが長期停止してポンプ本体が冷えてしまうと,そのまま再起動
した際に負荷が大きくヒューズが飛んでしまうそうです.(カタログ製品なのに!)
従って,再起動する際は以下の様に行う.
- 前面および右側面パネルを開ける.
- 右側面にある基板上の TURBO(MIRROR) と TURBO(SOURCE) コネクタを抜きターボポンプが
回らなくする.
- 同じ基板上のロータリーポンプ用のヒューズ(通常 6.3AMP)を 10AMP のものと交換する.
- 本体電源を投入し,ロータリーポンプを暖機する.(約2時間)
- ゲージコントローラーの電源を投入し TC2 が
Torr 程度まで到達
していることを確認する.
- 一旦本体電源を落とし,ロータリーポンプ用のヒューズをもと(6.3AMP)に戻す.
- ターボポンプのコネクタ(2つ)を戻す.
- 再び主電源を投入し真空を立ち上げる.シーケンサーにより自動でターボポンプも
加速される.ステータスは前面の基板上に発光ダイオードで表示されており,緑点灯で加速終了.
- このまま半日程度真空引きした後,BA2 のフィラメントに EMIS ボタンで通電する.
- BA2 が Torr 台に到達していたら, BA1 のフィラメントにも通電する.
- 前面および右側面パネルをもとに戻して,作業終了.
Nobuhisa Watanabe
平成13年10月24日