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: 露光条件の決定 : Strategy の利用 : 撮影範囲の決定

振動角の決定

次に反射の overlap を避けながらデータ収集を行うには、一枚あたりどの程度の 振動角が可能かを TESTGEN で見積もる。

例えば、247度から 292度までの範囲を overlap を 4% 以下にするという条 件で、 5度毎に可能な振動角の条件を見積もると、


STRATEGY =>testgen start 247 end 292 step 5 overlap 4 
STRATEGY =>go

TESTGEN OPTION
Generating from phi = 247.00 (START) to 292.00 (END)
testing overlaps every  5.00 degrees (STEP).
At each phi value, the oscillation angle which results in less than
  4.0% overlaps (OVERLAP) will be determined, subject to a minimum
oscillation angle of 0.20 degrees (MINOSC) and a maximum of  5.00 (MAXOSC)
Testing at phi 247 degrees
   (数行省略)
Testing at phi 292 degrees

Suggested data collection stratgey for a maximum spot overlap of  4.0%

Phi start  Phi end   no of images  oscillation angle  %age overlaps %age fulls
 247.0     252.0             5           1.00             2.8          17.1
 252.0     257.5             5           1.10             3.8          19.2
 257.5     261.4             3           1.30             3.0          25.5
 261.4     266.8             3           1.80             3.9          40.5
 266.8     271.6             4           1.20             4.0          22.9
 271.6     276.6             5           1.00             2.5          17.3
 276.6     282.1             5           1.10             3.7          20.0
 282.1     287.3             4           1.30             3.5          26.7
 287.3     296.5             2           4.60             2.7          69.5
  条件検討範囲                      可能な振動範囲   overlapの割合  完全反射率
のように Phi 軸の位置毎に可能な振動範囲の最大値を見積もることが出来る。

もっとも、この値は「最大値」であり、振動範囲を大きくするとバックランド の値も大きくなり S/B が小さくなってしまうこと等を考慮して、実際の振動 範囲を決定する。この例の場合は 1度の振動角でデータ収集を行えば、どの方 位でも 3% 以下の overlap のデータを収集することが出来ることが分る。



Nobuhisa Watanabe
平成14年12月9日