次に反射の overlap を避けながらデータ収集を行うには、一枚あたりどの程度の 振動角が可能かを TESTGEN で見積もる。
例えば、247度から 292度までの範囲を overlap を 4% 以下にするという条 件で、 5度毎に可能な振動角の条件を見積もると、
STRATEGY =>testgen start 247 end 292 step 5 overlap 4 STRATEGY =>go TESTGEN OPTION Generating from phi = 247.00 (START) to 292.00 (END) testing overlaps every 5.00 degrees (STEP). At each phi value, the oscillation angle which results in less than 4.0% overlaps (OVERLAP) will be determined, subject to a minimum oscillation angle of 0.20 degrees (MINOSC) and a maximum of 5.00 (MAXOSC) Testing at phi 247 degrees (数行省略) Testing at phi 292 degrees Suggested data collection stratgey for a maximum spot overlap of 4.0% Phi start Phi end no of images oscillation angle %age overlaps %age fulls 247.0 252.0 5 1.00 2.8 17.1 252.0 257.5 5 1.10 3.8 19.2 257.5 261.4 3 1.30 3.0 25.5 261.4 266.8 3 1.80 3.9 40.5 266.8 271.6 4 1.20 4.0 22.9 271.6 276.6 5 1.00 2.5 17.3 276.6 282.1 5 1.10 3.7 20.0 282.1 287.3 4 1.30 3.5 26.7 287.3 296.5 2 4.60 2.7 69.5 条件検討範囲 可能な振動範囲 overlapの割合 完全反射率のように Phi 軸の位置毎に可能な振動範囲の最大値を見積もることが出来る。
もっとも、この値は「最大値」であり、振動範囲を大きくするとバックランド の値も大きくなり S/B が小さくなってしまうこと等を考慮して、実際の振動 範囲を決定する。この例の場合は 1度の振動角でデータ収集を行えば、どの方 位でも 3% 以下の overlap のデータを収集することが出来ることが分る。