BL5S2 - 総合材料評価 I (X線回折)

ビームライン概要

粉末Ｘ線回折測定により，粉末や薄膜の結晶構造解析を実施する．

研究利用分野

材料の評価・合成試料の同定や，試料合成のその場観察．結晶性の評価や粒径サイズの評価．薄膜の配向性，エピタキシャル性の評価，多層膜構造の決定．

ビームライン性能(計算値)

光エネルギー

5〜20 keV (0.25〜0.06 nm)

ビームサイズ

0.40 mm×0.14 mm

分解能 (E/ΔE)

7000

光子数

1×10¹¹ Photons/sec

測定装置仕様，特徴

カメラ半径286 mmのデバイシェラーカメラに，幅350mm×縦400mmのイメージングプレート(IP)と二次元半導体検出器（PILATUS 100K）を備え，高分解能測定と高速データ収集を可能とする．通常の試料軸の他に高速回転のスピナーと薄膜用アタッチメントを装備する．

90K～1000Kの高低温吹きつけ装置（窒素ガス式）を備える．SPring-8 産業利用ビームラインと同等の試料自動チェンジャーを装備し，多数の測定試料の連続自動測定も可能とする．

ビームライン及び測定装置概略図

(参考) 他施設の類似ビームライン

SPring-8

BL02B2, BL19B2

Photon Factory

BL1A, BL1B